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          產(chǎn)品系統(tǒng)NEWS CENTER

          在發(fā)展中求生存,不斷完善,以良好信譽和科學(xué)的管理促進企業(yè)迅速發(fā)展
          產(chǎn)品系統(tǒng)

          首頁-產(chǎn)品系統(tǒng)--納米壓印配套設(shè)備-150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備

          150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備

          產(chǎn)品型號:

          簡要描述:GL150 PreNIL & GL300 PreNIL,150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備,Cassette to cassette機械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。

          • 廠家實力

            Manufacturer Strength
          • 有效保修

            Valid Warranty
          • 質(zhì)量保障

            Quality Assurance

          詳細介紹

          全自動納米壓印光刻基底預(yù)處理;

          Cassette to cassette機械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能;

          毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗;

          旋涂勻膠,包含自動供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能;

          熱板烘烤、冷板冷卻功能;

          可選配Plasma表面處理功能。

           

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